特許
J-GLOBAL ID：202103007833559643
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
西澤 和純
, 鈴木 史朗
, 柏野 由布子
, 志賀 正武
, 高橋 詔男
, 鈴木 三義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-192599
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054525
特許番号：特許第6828879号
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査物を搬送方向に搬送しつつ検査を行なう欠陥検査装置であって、
ラインセンサから得られる画像データに基づいて前記被検査物における欠陥の検出を行なう欠陥検出部と、
前記被検査物の搬送方向に対して直交する方向に対して前記被検査物の膜厚を測定する膜厚測定部と、
前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果と当該欠陥検出結果の前記被検査物における位置を表す第1座標とを含む欠陥検査結果と、前記膜厚測定部によって測定された膜厚と当該膜厚が測定された前記被検査物における位置を表す第2座標とを含む膜厚測定結果と、に基づいて、前記欠陥検出結果と前記膜厚測定結果とが、前記被検査物に対応した座標を表すマップに対して表された検査結果マップを生成する検査結果生成部と、
前記検査結果生成部によって生成された検査結果マップを出力する出力部と、
を有し、
前記欠陥検査装置は、
前記欠陥検出部によって得られた欠陥検出結果の第1座標と、前記膜厚測定部によって得られた膜厚と基準範囲とに基づいて膜厚異常として測定された第2座標と、が一致した欠陥を膜厚異常欠陥として分類する
欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06 ( 200 6.01)
, G01B 11/30 ( 200 6.01)
, G01N 21/89 ( 200 6.01)
G01B 11/06 101 G
, G01B 11/30 A
, G01N 21/89 Z
