特許
J-GLOBAL ID：202103008263147571
対向型X線複合ミラー
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-147194
公開番号（公開出願番号）：特開2021-028580
出願日： 2019年08月09日
公開日（公表日）： 2021年02月25日
要約：
【課題】ミラー同士を調整するのにかかる時間を大幅に短縮し、特殊計測機やX線のビームを用いずともアライメントが完了した状態で対向型X線複合ミラーを提供する。【解決手段】1次元のX線反射面を二つ以上備え、X線の斜入射光学系に用いるX線複合ミラーであって、ミラー基板が少なくとも2つ以上存在し、各ミラー基板の1面の一部に、凹型、凸型の何れか一方、若しくは両方の形状の1次元のX線反射面を有するとともに、当該反射面と同一側の前記ミラー基板の面の一部に、平面領域を有し、ミラー基板の平面領域の少なくとも一部を基準にして、別のミラー基板の相対配置を決定し、少なくとも二つの反射面が対向している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
1次元のX線反射面を二つ以上備え、X線の斜入射光学系に用いるX線複合ミラーであって、
ミラー基板が少なくとも2つ以上存在し、
前記各ミラー基板の1面の一部に、凹型、凸型の何れか一方、若しくは両方の形状の1次元のX線反射面を有するとともに、当該反射面と同一側の前記ミラー基板の面の一部に、平面領域を有し、
前記ミラー基板の平面領域の少なくとも一部を基準にして、別のミラー基板の相対配置を決定し、少なくとも二つの反射面が対向していることを特徴とする対向型X線複合ミラー。
IPC (1件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
