特許

J-GLOBAL ID：202103009461439843

超純水製造装置とその水質管理方法

発明者： 津田 晃彦 ,  菅原 広
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-212250
公開番号（公開出願番号）：特開2021-084045
出願日： 2019年11月25日
公開日（公表日）： 2021年06月03日
要約：

【課題】超純水製造装置のろ過膜の清浄度低下を、超純水製造装置の運転中に容易に確認することができる、超純水製造装置とその水質管理方法を提供する。【解決手段】超純水製造装置の水質管理方法であって、前記超純水製造装置はろ過膜を備え、前記ろ過膜に供給されるろ過膜入口水の金属濃度と、前記ろ過膜を透過したろ過膜出口水の金属濃度を、それぞれ濃縮法を用いて分析する分析工程を含む。ろ過膜を備える超純水製造装置であって、前記ろ過膜に供給されるろ過膜入口水の金属濃度と、前記ろ過膜を透過したろ過膜出口水の金属濃度を、それぞれ濃縮法を用いて分析する分析手段を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

超純水製造装置の水質管理方法であって、 前記超純水製造装置は、ろ過膜を備え、 前記ろ過膜に供給されるろ過膜入口水の金属濃度と、前記ろ過膜を透過したろ過膜出口水の金属濃度を、それぞれ濃縮法を用いて分析する分析工程を含むこと、を特徴とする超純水製造装置の水質管理方法。

IPC (4件)：

C02F 1/44 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/42 ,  G01N 15/08

FI (4件)：

C02F1/44 J ,  C02F1/32 ,  C02F1/42 A ,  G01N15/08 A

Fターム (23件)：

4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006HA01 ,  4D006KA01 ,  4D006KB04 ,  4D006KB11 ,  4D006KE12P ,  4D006KE13P ,  4D006MA01 ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PC02 ,  4D025AA04 ,  4D025AB05 ,  4D025BA24 ,  4D025BB04 ,  4D025DA04 ,  4D025DA05 ,  4D037AA03 ,  4D037AB18 ,  4D037BA18 ,  4D037CA03 ,  4D037CA15

引用特許：

審査官引用 (3件)

• UF膜モジュールの洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-198407   出願人：栗田工業株式会社
• 中空糸膜装置の洗浄方法、限外ろ過膜装置、超純水製造装置及び中空糸膜装置の洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2017-044837   出願人：オルガノ株式会社
• フィルタの評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-076696   出願人：オルガノ株式会社