特許
J-GLOBAL ID：202103010040972567

超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法

発明者：
五島 崇

五島 崇 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 鹿児島大学

国立大学法人 鹿児島大学 について


代理人 (4件)： 木村 満 ,  末富 孝典 ,  山中 生太 ,  廣石 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-113265
公開番号（公開出願番号）：特開2020-203259
出願日： 2019年06月19日
公開日（公表日）： 2020年12月24日
要約：
【課題】洗浄対象物の表面における洗浄したい領域以外の箇所へと洗浄液が流動しにくい超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法を提供する。【解決手段】接液ノズル210は、洗浄の対象である基板BPに洗浄液LQを接触させる。超音波付与装置300は、接液ノズル210によって基板BPに接触されている洗浄液LQに、超音波を付与する。超音波付与装置300によって超音波が付与されている洗浄液LQが、その洗浄液LQの表面張力によって、基板BPの表面における接液ノズル210に対向する対向領域RAと、接液ノズル210との間隙GPに、局所的に保持される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
洗浄の対象である洗浄対象物に洗浄液を接触させる接液部材と、 前記接液部材によって前記洗浄対象物に接触されている前記洗浄液に、超音波を付与する超音波付与装置と、 を備え、 前記超音波付与装置によって超音波が付与されている前記洗浄液が、該洗浄液の表面張力によって、前記洗浄対象物の表面における前記接液部材に対向する対向領域と、前記接液部材との間隙に、局所的に保持される、 超音波洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 3/12 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304
FI (6件)：
B08B3/12 Z ,  B08B3/02 G ,  B08B3/02 D ,  H01L21/304 643D ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 643B
Fターム (22件)：
3B201AA01 ,  3B201AB34 ,  3B201BB32 ,  3B201BB43 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  5F157AA02 ,  5F157AA75 ,  5F157AB02 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AB97 ,  5F157AC01 ,  5F157BB32 ,  5F157BB53 ,  5F157BB66 ,  5F157BB73 ,  5F157BB79 ,  5F157BC17 ,  5F157DA41 ,  5F157DB45 ,  5F157DC11
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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