特許
J-GLOBAL ID：202103010409355613

機能性セラミックス膜の形成方法、複合型デバイスの製造方法及び複合型デバイス

発明者：
下福 光

下福 光 について

, 
秋山 善一

秋山 善一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-221716
公開番号（公開出願番号）：特開2018-081965
特許番号：特許第6834384号
出願日： 2016年11月14日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に、二種の前駆体液を吐出した後、熱処理することにより、離間して配置されている、正圧電効果を有する機能性セラミックス膜と、逆圧電効果を有する機能性セラミックス膜を形成する方法であって、 前記正圧電効果を有する機能性セラミックス膜の形成に用いられる前駆体液は、樹脂粒子を含む以外は、前記逆圧電効果を有する機能性セラミックス膜の形成に用いられる前駆体液と同一であり、 前記樹脂粒子の平均粒子径(流体力学的径)が、前記樹脂粒子を含む前駆体液の1回の吐出により形成される前記機能性セラミックス膜の最厚部の膜厚以下であることを特徴とする、機能性セラミックス膜の形成方法。
IPC (10件)：
H01L 41/318 ( 201 3.01) ,  H01L 41/319 ( 201 3.01) ,  H01L 41/113 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/43 ( 201 3.01) ,  H01L 41/29 ( 201 3.01) ,  B05D 7/24 ( 200 6.01) ,  B05D 1/26 ( 200 6.01) ,  B05D 3/02 ( 200 6.01) ,  B05D 5/12 ( 200 6.01)
FI (11件)：
H01L 41/318 ,  H01L 41/319 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/43 ,  H01L 41/29 ,  B05D 7/24 303 E ,  B05D 7/24 303 F ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/02 Z ,  B05D 5/12 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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