特許
J-GLOBAL ID:201403088501379638
電子デバイス、電子デバイスの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-103357
公開番号(公開出願番号):特開2014-225531
出願日: 2013年05月15日
公開日(公表日): 2014年12月04日
要約:
【課題】2以上の異なる機能を有する複数の薄膜素子を備えた電子デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】基板と、 前記基板上に形成された複数の薄膜素子と、を備えており、 前記薄膜素子は、正の圧電効果、逆の圧電効果、電荷蓄積、半導体性、導電性から選択されたいずれかの機能の薄膜部を有しており、 前記複数の薄膜素子は、2以上の異なる機能の薄膜部を含むことを特徴とする電子デバイスを提供する。【選択図】図10
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上に形成された複数の薄膜素子と、を備えており、
前記薄膜素子は、正の圧電効果、逆の圧電効果、電荷蓄積、半導体性、導電性から選択されたいずれかの機能を備えた薄膜部を有しており、
前記複数の薄膜素子は、2以上の異なる機能の薄膜部を含むことを特徴とする電子デバイス。
IPC (10件):
H01L 41/09
, H01L 41/047
, H01L 41/113
, H01L 41/187
, H01L 41/318
, H01L 41/319
, H01L 41/43
, H01L 41/331
, H01L 41/311
, H01L 21/316
FI (10件):
H01L41/09
, H01L41/047
, H01L41/113
, H01L41/187
, H01L41/318
, H01L41/319
, H01L41/43
, H01L41/331
, H01L41/311
, H01L21/316 B
Fターム (8件):
5F058BA20
, 5F058BC03
, 5F058BD05
, 5F058BE10
, 5F058BF46
, 5F058BF47
, 5F058BH01
, 5F058BJ04
引用特許:
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