特許

J-GLOBAL ID：202103011108381445

移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、およびデバイス製造方法

発明者： 藤本 博志 ,  居村 岳広 ,  佐藤 基 ,  矢崎 雄馬 ,  大西 亘 ,  西村 拓朗 ,  坂田 晃一 ,  原 篤史 ,  長沢 昌弥 ,  陳 照祥 ,  横山 和弘
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学 ,  株式会社ニコン
代理人 (2件)： 片山 修平 ,  大竹 俊成
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-190382
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054847
特許番号：特許第6889534号
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 固定部に対して、移動可能な移動体と、 前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第1送電部と、 前記移動体に設けられ、前記第1送電部が送電した電力を受電する受電部と、 を備え、 前記第1送電部は、前記移動体の移動軌道に基づいて算出された電力を送電する移動体装置。

IPC (7件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H02J 50/12 ( 201 6.01) ,  H02J 50/80 ( 201 6.01) ,  H02J 50/50 ( 201 6.01) ,  H01F 38/14 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 N ,  H02J 50/12 ,  H02J 50/80 ,  H02J 50/50 ,  H01F 38/14

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-046987   出願人：株式会社ニコン
• 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-248951   出願人：株式会社ニコン
• ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-309831   出願人：株式会社ニコン
• 電池内蔵機器と充電台
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-129487   出願人：三洋電機株式会社
• 救援システム及び救援指示装置及び救援装置及び対象装置及びコンピュータプログラム及び救援指示方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-098017   出願人：三菱電機株式会社