ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 西和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-309831
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123334
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】ステージ装置の耐久性及び位置決め精度の向上を図ることができるステージ装置、露光装置等を提供する。【解決手段】電動部60を搭載した移動ステージを有するステージ装置であって、移動ステージに対して非接触状態で電力を供給する電力供給部102と、移動ステージに設けられて電力供給部102からの電力を受給すると共に電動部60に対して受給した電力を伝送する電力受給部104と、電動部60を制御する制御部20と、を備える。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

電動部を搭載した移動ステージを有するステージ装置であって、前記移動ステージに対して非接触状態で電力を供給する電力供給部と、前記移動ステージに設けられて前記電力供給部からの電力を受給すると共に前記電動部に対して受給した電力を伝送する電力受給部と、前記電動部を制御する制御部と、を備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L21/30 515G , G03F7/20 521 , H01L21/68 K

Fターム (34件)：

5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031GA02 , 5F031HA10 , 5F031HA13 , 5F031HA33 , 5F031HA53 , 5F031HA56 , 5F031HA60 , 5F031JA01 , 5F031JA02 , 5F031JA05 , 5F031JA14 , 5F031JA17 , 5F031JA22 , 5F031JA38 , 5F031JA49 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031LA08 , 5F031LA18 , 5F031MA27 , 5F046AA17 , 5F046AA23 , 5F046BA03 , 5F046CC01 , 5F046CC04 , 5F046CC13 , 5F046DA01 , 5F046DA04 , 5F046DA13

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平1-214042号公報
基板保持装置及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-054004 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (17件)

リソグラフィシステムにおけるユーティリティ輸送システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-543953 出願人：株式会社ニコン
移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-071466 出願人：株式会社ニコン
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-325858 出願人：キヤノン株式会社

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