特許

J-GLOBAL ID：202103011175047932

透過電子顕微鏡試料支持体、その製造方法及びそれを用いたサンプル調整方法

発明者： 加藤 隆一 ,  佐藤 主税 ,  末永 和知 ,  長谷川 雅考
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-149692
公開番号（公開出願番号）：特開2021-034135
出願日： 2019年08月19日
公開日（公表日）： 2021年03月01日
要約：

【課題】親水性及び電気伝導性において優れた特性を有する透過電子顕微鏡試料支持体を提供する。【解決手段】本透過電子顕微鏡試料支持体は、複数の孔を有する支持要素と、複数の孔の少なくとも一部の孔をカバーする2層のグラフェンとを有する。そして、2層のグラフェンのうち第1のグラフェン膜が、欠陥の少なくとも一部分に親水基が付着した親水化グラフェン膜であり、第1のグラフェン膜の欠陥量が、第1のグラフェン膜以外のグラフェン膜の欠陥量より多いことを特徴とする。このような2層のグラフェンは、例えばプラズマCVD法で成膜された2層グラフェンに対して紫外線オゾン処理を行うことによって作製される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

複数の孔を有する支持要素と、 前記複数の孔の少なくとも一部の孔をカバーする2層のグラフェンと、 を有し、 前記2層のグラフェンのうち第1のグラフェン膜が、欠陥の少なくとも一部分に親水基が付着した親水化グラフェン膜であり、 前記第1のグラフェン膜の欠陥量が、前記第1のグラフェン膜以外のグラフェン膜の欠陥量より多い ことを特徴とする透過電子顕微鏡試料支持体。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (2件)：

H01J37/20 A ,  G01N1/28 F

Fターム (5件)：

2G052EC22 ,  2G052GA34 ,  2G052HA19 ,  2G052JA15 ,  5C001CC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 透過型電子顕微鏡グリッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2019-010279   出願人：ツィンファユニバーシティ, 鴻海精密工業股ふん有限公司
• 酸化グラフェン、酸化グラフェン分散液及び酸化グラフェンの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-039328   出願人：株式会社ダイセル, 国立大学法人東京工業大学
• グラフェン改変
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-533949   出願人：メディカルリサーチカウンシル
• 透明導電膜構造、及び透明導電膜構造の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-141528   出願人：株式会社クラレ