特許
J-GLOBAL ID：202103011423247536
処理ツールのモニタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
田中 伸一郎
, 弟子丸 健
, ▲吉▼田 和彦
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 山本 泰史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-542399
特許番号：特許第6937698号
出願日： 2016年01月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体処理ツールからの排出ストリームの処理中に少なくとも1つの処理ツールをモニタするためのモニタ装置であって、
前記排出ストリームの前記処理中に発生された処理特性データを受信するように作動可能な受信論理部と、
前記処理特性データを前記少なくとも1つの処理ツールの状態に寄与する寄与期間に関連付けられた寄与処理特性データと該状態に寄与しない非寄与期間に関連付けられた非寄与処理特性データとに分別するように作動可能な分別論理部と、
前記状態のステータスを決定する時に前記寄与処理特性データを利用し、かつ前記非寄与処理特性データを除外するように作動可能な故障論理部と、
を含むことを特徴とする装置。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ( 200 6.01)
, G05B 23/02 ( 200 6.01)
H01L 21/02 Z
, G05B 23/02 Z
