物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-192693
公開番号（公開出願番号）：特開2018-054962
特許番号：特許第6874314号
出願日： 2016年09月30日
公開日（公表日）： 2018年04月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】物体を保持する物体保持装置であって、前記物体の下面のうち、互いに離間した領域を第1方向からそれぞれ支持する複数の第1支持部と、前記下面のうち、前記第1支持部に支持された領域外を、前記第1方向から非接触で支持する第2支持部と、を備え、複数の前記第1支持部のそれぞれは、前記物体の下面を複数点で支持可能な複数のピン部と、前記複数のピン部を囲む壁部と、前記壁部の内側に形成された孔部とを有し、前記孔部を介して前記壁部内の気体を吸引し前記物体を吸着保持し、前記物体を吸着保持しながら前記第1方向と交差する方向に移動する物体保持装置。

IPC (2件)：