特許
J-GLOBAL ID：200903035338377340

基板保持装置及び基板の保持方法

発明者：
加藤 洋

加藤 洋 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-081608
公開番号（公開出願番号）：特開2006-269498
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 浮上させたガラス基板の移動を規制して、所定の位置に確実に保持できるようにすることである。【解決手段】 ガラス基板Wを吸着して保持しつつ搬送する吸着搬送ユニット17のユニット本体20には貫通孔26が設けられており、この貫通孔26に吸着保持機構25が設けられている。吸着保持機構25は、圧搾エアー供給部30に接続された筒状の弾性部材31を有し、弾性部材31の上端部32には、吸着パッド33が装着されている。吸着パッド33には弾性部材31に連通する吸引孔36が形成されている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
浮上ステージから基板を浮上させつつ、前記基板を位置決めして保持する基板保持装置であって、 前記基板の裏面に当接可能な接触部材と、 浮上している前記基板の裏面に前記接触部材を当接させて前記基板の移動を規制した状態で、前記基板を所定位置に位置決めする位置決め機構と、 前記位置決め機構により位置決めされた前記基板を吸着保持させる吸引機構と、 を具備したことを特徴とする基板保持装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/683 ,  B65G 49/06 ,  G01N 21/84
FI (5件)：
H01L21/68 G ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 P ,  B65G49/06 A ,  G01N21/84 C
Fターム (29件)：
2G051AA84 ,  2G051DA07 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA13 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA38 ,  5F031GA48 ,  5F031GA55 ,  5F031GA62 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031HA33 ,  5F031HA34 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031KA02 ,  5F031KA03 ,  5F031KA15 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA33 ,  5F031PA13 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

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