特許
J-GLOBAL ID：202103011579934711
プローブ型センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
棚井 澄雄
, 飯田 雅人
, 及川 周
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-206911
公開番号（公開出願番号）：特開2021-081239
出願日： 2019年11月15日
公開日（公表日）： 2021年05月27日
要約：
【課題】様々な測定対象に適用できるプローブ型センサーを提供することを目的とする。【解決手段】このプローブ型センサーは、ファイバーと、前記ファイバーの一端に接続されたセンサーと、を備え、前記ファイバーは、複数の光ファイバーを含む光導波路と、前記光導波路の周囲に配置され前記光導波路に沿って延びる被覆膜とを備え、前記被覆膜は、内部に、前記光導波路に沿って延びる電極及び参照電極を有し、前記センサーは、半導体層と、前記半導体層の第1面に積層された絶縁体層と、前記第1面と反対の第2面に積層され前記ファイバーと電気的に接続する電極層と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ファイバーと、前記ファイバーの一端に接続されたセンサーと、を備え、
前記ファイバーは、複数の光ファイバーを含む光導波路と、前記光導波路の周囲に配置され前記光導波路に沿って延びる被覆膜とを備え、
前記被覆膜は、内部に、前記光導波路に沿って延びる電極及び参照電極を有し、
前記センサーは、半導体層と、前記半導体層の第1面に積層された絶縁体層と、前記第1面と反対の第2面に積層され前記ファイバーと電気的に接続する電極層と、を備える、プローブ型センサー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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