特許
J-GLOBAL ID：202103011836657350

ウエハー研磨装置用研磨パッド及びその製造方法

発明者：
アン,ジン・ウ

アン,ジン・ウ について


出願人/特許権者：
エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド

エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド について


代理人 (2件)： 山川 茂樹 ,  山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-526265
特許番号：特許第6980915号
出願日： 2018年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 切断面を有し、ウエハーと接触する前面部、前記前面部の下部に位置する背面部、及び 前記前面部と前記背面部を貫通する多数の格子溝を有する上部パッドと、 前記上部パッドの下部に配置され、定盤に付着可能な下部パッドと、 前記上部パッドと前記下部パッドとの間に位置し、前記上部パッドと前記下部パッドを 結合させる接着部と、を含み、 前記格子溝は、ウエハーと接触する入口領域が底面部領域より小さな大きさを有し、かつ下部長が上部長より長い台形の側断面を有し、 前記格子溝は、さらに、前記上部パッドの背面部をホットプレス加工した楔溝の角を含む前記上部パッドの前面部をバフ研磨加工することによってなるウエハー研磨装置用研磨パッド。
IPC (4件)：
B24B 37/22 ( 201 2.01) ,  B24B 37/26 ( 201 2.01) ,  B24B 37/24 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B24B 37/22 ,  B24B 37/26 ,  B24B 37/24 E ,  H01L 21/304 622 F
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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