特許
J-GLOBAL ID：202103011903991766
供給装置及び基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柏岡 潤二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-217855
公開番号（公開出願番号）：特開2018-078158
特許番号：特許第6832132号
出願日： 2016年11月08日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を支持するステージの一以上のゾーンに、第1の媒体温度調節器から出力される第1の熱交換媒体と、該第1の熱交換媒体の温度とは異なる温度を有し第2の媒体温度調節器から出力される第2の熱交換媒体と、を交互に供給する供給装置であって、
前記第1の熱交換媒体の出力用の前記第1の媒体温度調節器の供給ポートに接続された第1の供給ラインと、
前記第2の熱交換媒体の出力用の前記第2の媒体温度調節器の供給ポートに接続された第2の供給ラインと、
前記第1の供給ラインからの前記第1の熱交換媒体を前記一以上のゾーンにそれぞれ中継するための一以上の第3の供給ラインと、
前記第2の供給ラインからの前記第2の熱交換媒体を前記一以上のゾーンにそれぞれ中継するための一以上の第4の供給ラインと、
各々が、前記一以上のゾーンのうち一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体と前記第2の熱交換媒体を交互に供給するよう構成された一以上のバルブ装置と、
各々が、二つの入力ポートと、該二つの入力ポートに接続された一つの出力ポートを有する一以上の合流器と、
各々が前記一以上の合流器のうち一つの対応の合流器の前記出力ポートと前記一つの対応のゾーンとの間で熱交換媒体を中継する一以上の第5の供給ラインと、
を備え、
前記一以上のバルブ装置の各々は、
第1の入口、第2の入口、第1の出口、及び、第2の出口を提供する筒状のハウジングであり、該第1の入口は前記第1の供給ラインに接続され、該第2の入口は前記第2の供給ラインに接続され、該第1の出口は前記一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体を中継するための前記一以上の第3の供給ラインのうちの一つの第3の供給ラインに接続され、該第2の出口は前記一つの対応のゾーンに前記第2の熱交換媒体を中継するための前記一以上の第4の供給ラインのうちの一つの第4の供給ラインに接続されている、該筒状のハウジングと、
前記ハウジング内に挿入された軸体であり、該軸体の中心軸線に対して周方向に延びる第1の供給溝及び第2の供給溝が形成されており、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が第1の角度範囲にあるときに、該第1の供給溝が前記第1の入口と前記第1の出口を接続し、該軸体の前記中心軸線周りの回転角度位置が第2の角度範囲にあるときに、該第2の供給溝が前記第2の入口と前記第2の出口を接続する、該軸体と、
前記軸体を前記中心軸線周りに回転させるための駆動装置と、
を有し、
前記一以上の合流器の各々の前記二つの入力ポートは、前記一以上の第3の供給ラインのうち前記一つの対応のゾーンに前記第1の熱交換媒体を中継する一つの第3の供給ラインと前記一以上の第4の供給ラインのうち前記一つの対応のゾーンに前記第2の熱交換媒体を中継する一つの第4の供給ラインとにそれぞれ接続されており、
前記一以上の第3の供給ラインの流路長及び前記一以上の第4の供給ラインの流路長は、前記一以上の第5の供給ラインのそれぞれの流路長よりも長い、
供給装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
H01L 21/68 R
, H01L 21/302 101 G
