特許
J-GLOBAL ID:202103012643789352
加熱対象物計測システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人東京国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-224737
公開番号(公開出願番号):特開2018-081041
特許番号:特許第6800000号
出願日: 2016年11月18日
公開日(公表日): 2018年05月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】対象物を対流加熱する対流加熱装置と、対流加熱中の前記対象物の形状を計測する光学計測装置と、前記対流加熱装置が発する熱が前記光学計測装置に到達することを妨げる熱交換器と、を備えた加熱対象物計測システムであって、
前記対流加熱装置は、
前記対象物を載置する載置台を内包するとともに、前記光学計測装置の光路上に前記対象物と離間して開口部が設けられた加熱炉筐体と、
前記加熱炉筐体の前記開口部をふさぐ観察窓用透明体と、を有し、
前記光学計測装置は、
前記光路上の前記観察窓用透明体を介して前記対象物に対向する位置に設けられた対物レンズを有し、
前記熱交換器は、
それぞれが平行平板型の薄型透明体により構成され、前記対物レンズおよび前記観察窓用透明体との間にいずれとも互いに離間して設けられ、かつ、各薄型透明体の面が前記光路に交差するとともに互いの面どうしが平行かつ互いに離間するように設けられた、複数枚の薄型透明体と、
前記光路上に前記対物レンズおよび前記対象物との間にいずれとも離間するように開口部が設けられた底部を有し、前記底部の前記開口部をふさぐように前記複数枚の薄型透明体を支持する支持筐体と、
前記複数枚の薄型透明体どうしの離間した空間により形成され、強制的に一方向に気体を流される第1断熱流路と、
を有する、
加熱対象物計測システム。
IPC (2件):
G01B 11/24 ( 200 6.01)
, G01N 25/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 11/24 K
, G01N 25/02 B
引用特許:
出願人引用 (7件)
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光学計測器用断熱装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-209283
出願人:株式会社高岳製作所
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計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2013-027967
出願人:キヤノン株式会社
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画像処理装置、立体形状計測装置および画像処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-055423
出願人:株式会社東光高岳
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光学式観察装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-189576
出願人:株式会社コアーズ
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加熱装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-004480
出願人:株式会社高岳製作所
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液晶パネルの検査方法及び検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-345538
出願人:ソニー株式会社
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特公昭50-029487
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審査官引用 (7件)
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光学計測器用断熱装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-209283
出願人:株式会社高岳製作所
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計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2013-027967
出願人:キヤノン株式会社
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画像処理装置、立体形状計測装置および画像処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-055423
出願人:株式会社東光高岳
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光学式観察装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-189576
出願人:株式会社コアーズ
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加熱装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-004480
出願人:株式会社高岳製作所
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液晶パネルの検査方法及び検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-345538
出願人:ソニー株式会社
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特公昭50-029487
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