特許
J-GLOBAL ID：201203068956766413
加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-004480
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145283
出願日： 2011年01月13日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】対象物をムラなく均一に高温加熱しながら高精度に計測するため、加熱装置を密閉構造とすることなく、さらに対象物をステージ動作させながらでも、対象物の加熱及び計測を可能とする加熱装置を提供する。【解決手段】対象物6の上面に計測用に設けた開口部10を有するプレート型ヒーター5を配置し、前記対象物6の下面には接触式または非接触式の加熱ユニット7と、前記対象物6を支持する支持体11とで構成された加熱ケース9をステージに搭載し、ステージ動作させながら対象物6の加熱と計測を可能とする加熱装置を構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加熱対象物を固定するための支持体と、
前記加熱対象物の観察面裏側を接触または非接触で加熱する裏面加熱器と、
前記加熱対象物と前記支持体と前記裏面加熱器とを搭載し動作させる少なくとも1軸の移動ステージと、
面的に広がった均一温度領域を有し、その均一温度領域の一部に前記加熱対象物を観察するための開口部を有し、前記加熱対象物に近接させることで前記加熱対象物を観察面表側より非接触で加熱する表面加熱器とで構成され、
前記移動ステージを動作させることで、前記開口を通して前記加熱対象物全体を観察あるいは計測しながら前記加熱対象物の表面および裏面を同時に均一加熱することを特徴とする加熱装置
IPC (4件)：
F27D 11/02
, F27D 19/00
, F27D 21/02
, H05B 3/00
F27D11/02 Z
, F27D19/00 A
, F27D21/02
, H05B3/00 310D
3K058AA86
, 3K058BA15
, 3K058CA23
, 4K056AA00
, 4K056BB05
, 4K056FA04
, 4K056FA21
, 4K056FA22
, 4K063AA00
, 4K063FA02
, 4K063FA13
, 4K063FA29
