特許

J-GLOBAL ID：202103013677229409

三次元形状計測システム

発明者： 近藤 余範 ,  尾藤 洋一
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-195480
公開番号（公開出願番号）：特開2018-059733
特許番号：特許第6800442号
出願日： 2016年10月03日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ペンタミラーを介して測定対象物の計測を行い、1つからなる第1のオートコリメータと、 前記測定対象物の複数位置の各々から、前記ペンタミラーと前記測定対象物との少なくとも一方を他方に対し第1の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第1の方向の二次元形状を前記第1のオートコリメータに計測させる第1の二次元形状計測機構と、 前記測定対象物の特定位置から、前記ペンタミラーと前記測定対象物との少なくとも一方を他方に対し、前記第1の方向と交差する第2の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第2の方向の二次元形状を前記第1のオートコリメータに計測させる第2の二次元形状計測機構とを備え、 前記第1の方向の二次元形状と前記第2の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、前記測定対象物の三次元形状を得ることを特徴とする三次元形状計測システム。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ( 200 6.01) ,  G01B 11/26 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/26 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359677   出願人：株式会社東北テクノアーチ
• 3次元形状測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-147609   出願人：オリンパス株式会社

審査官引用 (2件)

• 表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-359677   出願人：株式会社東北テクノアーチ
• 3次元形状測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-147609   出願人：オリンパス株式会社