微粒子濃度測定器の性能試験方法、性能試験システム及びその制御方法、制御装置並びに記憶媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：新居広守 , 寺谷英作 , 道坂伸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-564612
特許番号：特許第6865380号
出願日： 2018年12月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 n(n≧3)個の異なる微粒子濃度において、被検微粒子濃度測定器に微粒子濃度の測定を行わせることを特徴とする微粒子濃度測定器の性能試験方法であって、気密性を有する試験室内で行われ、微粒子発生装置により前記試験室内の微粒子濃度を所定値以上にする微粒子発生工程と、微粒子浄化装置により前記試験室内の微粒子濃度を降下させる濃度調整工程と、前記被検微粒子濃度測定器に微粒子濃度の測定を行わせる測定工程と、前記濃度調整工程及び前記測定工程をn回繰り返すことにより、n個の異なる微粒子濃度における測定を行うことと、を含む性能試験方法。

IPC (1件)：