特許

J-GLOBAL ID：202103015109528585

気体センサ装置

発明者： 中野 洋 ,  松本 昌大 ,  小野瀬 保夫 ,  星加 浩昭
出願人/特許権者： 日立オートモティブシステムズ株式会社
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-242217
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096865
特許番号：特許第6802703号
出願日： 2016年12月14日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板上に形成された熱絶縁膜と、前記熱絶縁膜上に設けられ気体の物理量を計測する第1ヒータと、前記熱絶縁膜上に前記第1ヒータと同一抵抗層で形成される参照抵抗と、を備えた気体センサ装置において、 前記第1ヒータと前記参照抵抗とを同時に加熱する第2ヒータを備え、 前記第2ヒータの動作時に、前記第1ヒータの駆動を停止させることを特徴とする気体センサ装置。

IPC (4件)：

G01N 25/62 ( 200 6.01) ,  G01F 1/692 ( 200 6.01) ,  G01N 25/18 ( 200 6.01) ,  G01N 27/18 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01N 25/62 Z ,  G01F 1/692 A ,  G01N 25/18 J ,  G01N 27/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 湿度センサ装置及びその自己診断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-049598   出願人：株式会社デンソー, 株式会社日本自動車部品総合研究所
• 熱式ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-296665   出願人：日立オートモティブシステムズ株式会社
• ガスセンサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-113830   出願人：TDK株式会社