特許
J-GLOBAL ID：201103032640981205
熱式ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 学
, 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-296665
公開番号（公開出願番号）：特開2011-137679
出願日： 2009年12月28日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：
【課題】熱伝導率の変化に基づいたガス分析が可能な、高応答で高精度の熱式ガスセンサを提供することである。【解決手段】空洞部5を有する基板2と、空洞部に積層され、複数の絶縁層8a,8bから構成される薄膜支持体6と、薄膜支持体の絶縁層に挟持された第1の発熱体3および第2の発熱体4とを有し、第2の発熱体は第1の発熱体の周辺に配置され、第1の発熱体は第2の発熱体よりも高温に制御され、第1の発熱体に印加される電力に基づいて周囲ガスの濃度を測定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
空洞部を有する基板と
前記空洞部に積層され、複数の絶縁層から構成される薄膜支持体と、
前記薄膜支持体の絶縁層に挟持された第1の発熱体および第2の発熱体とを有し、
前記第2の発熱体は前記第1の発熱体の周辺に配置され、
前記第1の発熱体は前記第2の発熱体よりも高温に制御され、
前記第1の発熱体に印加される電力に基づいて周囲ガスの濃度を測定する熱式ガスセンサセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N25/18 E
, G01F1/68 101Z
2F035EA08
, 2G040AA02
, 2G040AB08
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA13
, 2G040CA22
, 2G040DA02
, 2G040EA02
