特許
J-GLOBAL ID:202103015157672060
洗浄装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
松浦 孝
, 相川 守
, 小倉 洋樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-201880
公開番号(公開出願番号):特開2018-061941
特許番号:特許第6805708号
出願日: 2016年10月13日
公開日(公表日): 2018年04月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】正立状態で搬送される容器内に洗浄液を注入して、容器内に洗浄液を貯留させる注入手段と、
前記注入手段の下流側に設けられ、前記容器の外面に、伝達液に超音波を付与した超音波噴流を噴射する超音波ノズルとを備え、
前記超音波ノズルから噴射される超音波噴流によって、前記容器内に貯留された洗浄液にキャビテーションを発生させて前記容器の内面を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件):
B08B 9/32 ( 200 6.01)
, B08B 9/093 ( 200 6.01)
, B08B 3/02 ( 200 6.01)
FI (3件):
B08B 9/32
, B08B 9/093
, B08B 3/02 B
引用特許:
出願人引用 (8件)
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特公昭46-010713
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-362469
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-307334
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-381165
出願人:シャープ株式会社
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基板処理方法および同装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-115119
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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せきを具備した超音波洗浄器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-042296
出願人:和田恭太郎
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洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-372938
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-272651
出願人:シャープ株式会社
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審査官引用 (8件)
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特公昭46-010713
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超音波洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-362469
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-307334
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置および洗浄方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-381165
出願人:シャープ株式会社
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基板処理方法および同装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-115119
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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せきを具備した超音波洗浄器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-042296
出願人:和田恭太郎
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洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-372938
出願人:シャープ株式会社
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洗浄装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-272651
出願人:シャープ株式会社
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