特許
J-GLOBAL ID：202103015431863586
ワークの切断方法及びワイヤソー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
好宮 幹夫
, 小林 俊弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-010478
公開番号（公開出願番号）：特開2019-126883
特許番号：特許第6819621号
出願日： 2018年01月25日
公開日（公表日）： 2019年08月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面に砥粒が固着された固定砥粒ワイヤを、複数の溝付ローラに巻きかけることによってワイヤ列を形成し、前記固定砥粒ワイヤを軸方向に往復走行させながら、ワークに貼り付けられた接合部材を介してワーク保持手段で保持したワークを、前記ワイヤ列に対して切り込み送りすることによって、前記ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーによるワークの切断方法であって、
前記ワークの切断終了後、かつ、前記ワイヤ列から前記ワークを引き抜く前に、前記ワークと前記ワーク保持手段の間に別途設けられた金属製のワイヤ摩耗部材を前記ワイヤ列に対して切り込み送りし、前記固定砥粒ワイヤを摩耗させることを特徴とするワークの切断方法。
IPC (4件)：
B24B 27/06 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B28D 5/04 ( 200 6.01)
, B28D 7/04 ( 200 6.01)
B24B 27/06 H
, H01L 21/304 611 W
, B28D 5/04 C
, B28D 7/04
