特許

J-GLOBAL ID：202103015565241727

成膜方法、及び成膜装置

発明者： 北見 尚久 ,  山本 哲也
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社 ,  高知県公立大学法人
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柳 康樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-119435
公開番号（公開出願番号）：特開2021-004402
出願日： 2019年06月27日
公開日（公表日）： 2021年01月14日
要約：

【課題】用途に応じて適切な条件で酸化亜鉛膜の成膜を行うことができる成膜方法、及び成膜装置を提供する。【解決手段】成膜方法は、酸化亜鉛膜の粒界散乱寄与度と、成膜時の中性酸素の比率との間の関係性が変化する変曲点を設定する工程(変曲点設定工程S10)を備える。この場合、変曲点よりも中性酸素の比率が高い領域と、変曲点よりも中性酸素の比率が低い領域とでは、中性酸素の比率の変化に対する所定の特性の変化態様が異なったものとなる。成膜方法は、変曲点よりも中性酸素の比率が高い領域の条件を用いるか、変曲点よりも中性酸素の比率が低い領域の条件を用いるかを決定する工程(条件設定工程S20)を備える。これにより、変曲点よりも中性酸素の比率が高い条件、及び変曲点よりも中性酸素の比率が低い条件のうち、酸化亜鉛膜の用途に対してより適切な方の条件を設定することができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

酸素をイオン化させて対象物上に酸化亜鉛膜の成膜を行う成膜方法であって、 前記酸化亜鉛膜の所定の特性と、成膜時の中性酸素の比率との間の関係性が変化する変曲点を設定する工程と、 前記変曲点よりも前記中性酸素の比率が高い領域の条件を用いるか、前記変曲点よりも前記中性酸素の比率が低い領域の条件を用いるかを決定する工程と、 決定した条件で成膜を行う工程と、を備える、成膜方法。

IPC (2件)：

C23C 14/54 ,  C23C 14/08

FI (2件)：

C23C14/54 B ,  C23C14/08 C

Fターム (8件)：

4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA03 ,  4K029DD05 ,  4K029EA06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 酸化亜鉛膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-083050   出願人：住友重機械工業株式会社
• 酸化亜鉛薄膜製造装置、マルチプラズマ酸化亜鉛薄膜製造装置、酸化亜鉛薄膜製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-014003   出願人：国立大学法人茨城大学, 株式会社ビームトロン