特許
J-GLOBAL ID:202103015806453259
ガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鎌田 耕一
, 古田 昌稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2021-034364
公開番号(公開出願番号):特開2021-099364
出願日: 2021年03月04日
公開日(公表日): 2021年07月01日
要約:
【課題】ガスの濃度が低くても、確実にガスを検出する事ができるガスセンサを提供する。【解決手段】ガスセンサ100は、基板10と、基板10の上に配置された第1の導電体20及び第2の導電体25と、絶縁層40と、吸着材層30と、を備える。絶縁層40は、第1の導電体20及び第2の導電体25を被覆するとともに、第1の導電体20の表面の一部を露出させる第1の開口部45と、第2の導電体25の表面の一部を露出させる第2の開口部46とを有する。吸着材層30は、導電材料とガスを吸着することができる有機吸着材とを含み、第1の開口部45及び第2の開口部46を通じて、第1の導電体20及び第2の導電体25のそれぞれに接触している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板の上に配置された第1の導電体及び第2の導電体と、
前記第1の導電体及び前記第2の導電体を被覆するとともに、前記第1の導電体の表面の一部を露出させる第1の開口部と、前記第2の導電体の表面の一部を露出させる第2の開口部とを有する絶縁層と、
導電材料と、ガスを吸着することができる有機吸着材とを含み、前記第1の開口部及び前記第2の開口部を通じて、前記第1の導電体及び前記第2の導電体のそれぞれに接触している吸着材層と、
を備えた、ガスセンサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (15件):
2G046AA24
, 2G046AA25
, 2G046AA26
, 2G046BA01
, 2G046BB02
, 2G046BC05
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046EA07
, 2G046EA12
, 2G046FA01
, 2G046FA04
, 2G046FA06
, 2G046FA09
, 2G046FC07
引用特許:
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