分光学的手法による形態観察方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-239051
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096735
特許番号：特許第6901846号
出願日： 2016年12月09日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】測定対象物を研削することにより、該測定対象物の被測定面を露出させた後、該被測定面を分光学的手法により分析する方法において、該測定対象物の被測定面を露出させた際、該被測定面の外周の少なくとも一部にろう材が付着した状態とする密着材付着工程、該密着材付着工程で得られた該測定対象物の該被測定面上に、該分光学的手法の測定光を透過する透過体を密着させる準備工程、および該準備工程で得られた対象物の該被測定面に、該測定光を、該透過体を通して当てることにより、該被測定面の分析を行う分析工程を含み、前記準備工程において、前記被測定面の外周に付着したろう材を軟化させて、軟化したろう材によって、前記透過体を前記被測定面上に密着させる、分析方法。

IPC (1件)：