荷電粒子線デバイス用のセグメント化検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：田中伸一郎 , 弟子丸健 , ▲吉▼田和彦 , 松下満 , 倉澤伊知郎 , 山本泰史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-525503
特許番号：特許第6796643号
出願日： 2016年07月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】荷電粒子線デバイス(1、1’)用の検出器(18)であって、前記荷電粒子線デバイス内に載置されるように構成された基板(42)と、前記基板上に備えられたいくつかの第1のセンサデバイス(46)であって、それぞれが、被検物によって放出された電子に対して感応性があり、電子に応答して第1の信号を生成するように構成されている、いくつかの第1のセンサデバイス(46)と、前記基板上に備えられたいくつかの第2のセンサデバイス(48)であって、それぞれが、前記被検物によって放射された光子に対して感応性があり、光子に応答して第2の信号を生成するように構成されている、いくつかの第2のセンサデバイス(48)と、を備える、検出器(18)。

IPC (2件)：