特許

J-GLOBAL ID：202103017720246717

圧電素子、圧電素子の製造方法、圧電アクチュエータおよび電子機器

発明者： 久保田 純 ,  松田 堅義 ,  三浦 薫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 岡部 讓 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-229404
公開番号（公開出願番号）：特開2017-108125
特許番号：特許第6833479号
出願日： 2016年11月25日
公開日（公表日）： 2017年06月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板、電極、および圧電膜を備えた圧電素子であって、 前記圧電膜は、下記一般式(1)で表わされるペロブスカイト型金属酸化物と、MnおよびBiとを含有し、 前記酸化物1モルに対する前記MnおよびBiの合計含有量Saveが、0.0020モル以上0.0150モル以下であり、 前記圧電膜の一方の電極に隣接する領域における前記MnおよびBiの合計含有量Sbouが、前記Saveより小さいことを特徴とする、圧電素子。 (Ba1-xCax)(Ti1-y-zZrySnz)O3 (1) (式中、0.09≦x≦0.30、0.025≦y≦0.085、0≦z≦0.02)

IPC (17件)：

H01L 41/187 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/113 ( 200 6.01) ,  H01L 41/047 ( 200 6.01) ,  H01L 41/318 ( 201 3.01) ,  C04B 35/468 ( 200 6.01) ,  H02N 2/04 ( 200 6.01) ,  H02N 2/12 ( 200 6.01) ,  B41J 2/14 ( 200 6.01) ,  B41J 2/16 ( 200 6.01) ,  G03B 5/00 ( 202 1.01) ,  G02B 26/08 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  H04R 17/00 ( 200 6.01) ,  H04R 17/02 ( 200 6.01) ,  G01C 19/5642 ( 201 2.01) ,  H03H 9/17 ( 200 6.01)

FI (21件)：

H01L 41/187 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/318 ,  C04B 35/468 200 ,  H02N 2/04 ,  H02N 2/12 ,  B41J 2/14 305 ,  B41J 2/14 613 ,  B41J 2/16 305 ,  B41J 2/16 517 ,  G03B 5/00 J ,  G03B 5/00 H ,  G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  H04R 17/00 330 G ,  H04R 17/00 ,  H04R 17/02 ,  G01C 19/564 ,  H03H 9/17 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧電材料、圧電素子、および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-109341   出願人：キヤノン株式会社
• 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-025460   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電素子、圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-116642   出願人：キヤノン株式会社, 富士化学株式会社