圧電素子、圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-116642
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329460
出願日： 2007年04月26日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】疲労特性及び圧電特性に優れた圧電素子並びにこの圧電素子を用いた圧電アクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】圧電膜と該圧電膜に接する一対の電極とを基板上に有する圧電素子であって、前記圧電膜は、鉛系圧電膜と非鉛系圧電膜とが積層した構造を有し、前記圧電膜の、前記基板から最も遠い層と前記基板に最も近い層とは、非鉛系圧電膜であることを特徴とする圧電素子。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電膜と該圧電膜に接する一対の電極とを基板上に有する圧電素子であって、前記圧電膜は、鉛系圧電膜と非鉛系圧電膜とが積層した構造を有し、前記圧電膜の、前記基板から最も遠い層と前記基板に最も近い層とは、非鉛系圧電膜であることを特徴とする圧電素子。

IPC (8件)：

H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/22 , H01L 41/24 , H02N 2/00 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (11件)：

H01L41/08 C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101J , H01L41/18 101B , H01L41/08 J , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , H01L41/08 L , H02N2/00 B , B41J3/04 103A , B41J3/04 103H

Fターム (6件)：

2C057AF65 , 2C057AG49 , 2C057AP15 , 2C057AP52 , 2C057AP53 , 2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (13件)

米国特許第5,265,315号
特表平 5-504740号公報
強誘電体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-001444 出願人：セイコーエプソン株式会社

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審査官引用 (4件)

圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-355487 出願人：株式会社日立製作所
含スピネル型フェライト球状多孔質シリカ粒子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-365961 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振子、および電子機器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-270189 出願人：セイコーエプソン株式会社

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