熱作動型カンチレバー式ビーム光学スキャナ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：山本秀策 , 森下夏樹 , 飯田貴敏 , 石川大輔 , 山本健策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-528051
公開番号（公開出願番号）：特表2021-504738
出願日： 2018年11月20日
公開日（公表日）： 2021年02月15日
要約：

光学スキャナ、光学投影システム、および光学導波管を走査し、画像を投影させる方法の実施形態が、説明される。開示されるデバイス、システム、および方法は、有利には、カンチレバーの発振を誘発するための熱駆動型アクチュエータを光学スキャナおよび光学投影システム内に実装することによって、光学スキャナおよび光学投影システムのコンパクト性、ロバスト性、単純性、および信頼性に対する改良を提供する。光学スキャナおよび光学投影システムの安定性および正確度はさらに、本明細書に説明される容量感知、フィードバック、および位相補正技法を使用して、向上される。

請求項（抜粋）：

光学走査デバイスであって、基部と、前記基部から延在するカンチレバー式ビームであって、前記カンチレバー式ビームは、前記基部に取り付けられる近位端と、遠位端とを含む、カンチレバー式ビームと、少なくとも1つの光学導波管であって、前記少なくとも1つの光学導波管は、前記基部および前記カンチレバー式ビーム上に位置付けられ、前記近位端から前記遠位端までの前記カンチレバー式ビームに沿って、前記基部から延在する、少なくとも1つの光学導波管と、前記カンチレバー式ビーム上に配置される複数のヒータとを備える、光学走査デバイス。

IPC (4件)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , G02B 27/02 , B81B 3/00

FI (6件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/08 E , G02B27/02 Z , G02B26/10 C , G02B26/10 109Z , B81B3/00

Fターム (38件)：

2H045AB38 , 2H045AB44 , 2H045AB72 , 2H045AE02 , 2H045AE05 , 2H045BA13 , 2H045BA14 , 2H141MA12 , 2H141MB23 , 2H141MC08 , 2H141MD12 , 2H141MD15 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141ME06 , 2H141ME18 , 2H141ME19 , 2H141ME25 , 2H141MG04 , 2H141MZ13 , 2H141MZ16 , 2H141MZ23 , 2H199CA29 , 2H199CA34 , 2H199CA42 , 2H199CA50 , 2H199CA64 , 2H199CA65 , 2H199CA67 , 2H199CA68 , 3C081AA11 , 3C081BA28 , 3C081BA43 , 3C081BA57 , 3C081DA27 , 3C081DA29 , 3C081EA11

引用特許：

審査官引用 (8件)

統合光走査画像取得および表示
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-525541 出願人：ユニヴァーシティオブワシントン
形状記憶合金薄膜アクチュエータ及びその製造方法、並びに光偏向器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-247225 出願人：オリンパス光学工業株式会社
空間的サーマルパターンを有するサーマルアクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-381110 出願人：イーストマンコダックカンパニー

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