特許
J-GLOBAL ID：202103019356637775

振動ジャイロ

発明者：
帯谷 和敬

帯谷 和敬 について

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土屋 智由

土屋 智由 について

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荒屋 和貴

荒屋 和貴 について

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谷内 雅紀

谷内 雅紀 について


出願人/特許権者：
多摩川精機株式会社

多摩川精機株式会社 について

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国立大学法人京都大学

国立大学法人京都大学 について


代理人 (1件)： 山本 俊則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-111920
公開番号（公開出願番号）：特開2020-204506
出願日： 2019年06月17日
公開日（公表日）： 2020年12月24日
要約：
【課題】単結晶圧電材料を用いた振動ジャイロを提供する。【解決手段】(a)互いに対向する一対の主面12s,12tを有し、主面12s,12tに平行かつ互いに直交する2つの駆動軸と、駆動軸の間を等分する2つの検出軸とのそれぞれを中心として線対称な形状である圧電基板12と、(b)圧電基板12を駆動軸方向に振動させる電界を圧電基板12に印加するための駆動用電極21〜28,31〜38と、(c)圧電基板12の検出軸の方向の振動によって圧電基板12に励起される電荷を検出するための検出用電極41〜28,51〜58とを備える。圧電基板12は、三方晶系の点群3mに分類される単結晶の圧電材料からなり、圧電基板12の主面12s,12t方向の弾性コンプライアンスが主面12s,12t内の方位によらず略一定になるように切り出されている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
縮退モードのワイングラス振動あるいは円環広がり振動で駆動、検出する振動ジャイロであって、 互いに対向する一対の主面を有する圧電基板と、 前記圧電基板を、前記主面に平行かつ互いに直交する2つの駆動軸の方向に振動させる電界を前記圧電基板に印加するための駆動用電極と、 前記圧電基板の、前記駆動軸の間を等分する2つの検出軸の方向の振動によって前記圧電基板に励起される電荷を検出するための検出用電極と、 を備え、 前記圧電基板は、 三方晶系の点群3mに分類される単結晶の圧電材料からなり、 前記単結晶の結晶軸X,Y,ZのうちZ軸が分極方向であり、 前記結晶軸X,Y,Zによる結晶XYZ座標系を右手系オイラー角の定義に従って、前記Z軸周りに角度ψ回転したX'Y'Z'座標系を、さらにX'軸周りに角度θ回転したX''Y''Z''座標が前記圧電基板のウエハ座標系であるとすると、 2つの前記駆動軸と2つの前記検出軸とのうち一方は、X''軸又はY''軸に平行であり、 2つの前記駆動軸と2つの前記検出軸とのうち他方は、前記X''軸及び前記Y''軸の間を等分する2つの直線のうち一方又は他方に平行であり、 前記圧電基板の前記主面方向の弾性コンプライアンスが前記主面内の方位によらず略一定であることを特徴とする、振動ジャイロ。
IPC (5件)：
G01C 19/567 ,  G01C 19/569 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/047
FI (5件)：
G01C19/5677 ,  G01C19/5691 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/047
Fターム (9件)：
2F105AA01 ,  2F105AA02 ,  2F105BB02 ,  2F105BB03 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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