特許

J-GLOBAL ID：200903082808387656

圧電ジャイロ

発明者： 若月 昇 ,  菊池 一二 ,  谷内 雅紀 ,  山田 澄夫 ,  小野 正明
出願人/特許権者： 富士通メディアデバイス株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143729
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324332
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は振動体として圧電体を用いた圧電ジャイロに関し、電極構造の簡単化を図ることを課題とする。【解決手段】圧電体により形成されており、ベース部22と、駆動部となる上部アーム部23,24と、検出部となる下部アーム部25,26とにより構成された振動体21と、上部アーム部23,24に配設された上部電極30〜37と、下部アーム部25,26に配設された下部電極40〜43とを具備する圧電ジャイロにおいて、振動体21を構成する圧電体として分極反転圧電単結晶を使用する。

請求項（抜粋）：

圧電体により形成されており、駆動部と検出部とにより構成される振動体と、該駆動部に配設された駆動電極と、該検出部に配設された検出電極とを具備する圧電ジャイロにおいて、前記圧電体として、分極反転圧電単結晶を使用したことを特徴とする圧電ジャイロ。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A

Fターム (11件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB04 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧電振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-140469   出願人：富士通株式会社
• 圧電ジャイロおよびその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-171814   出願人：富士通株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-082317   出願人：松下電器産業株式会社
• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-282986   出願人：株式会社村田製作所