特許
J-GLOBAL ID：202103019618395930
X線回折システムのキャリブレーション方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-248925
公開番号（公開出願番号）：特開2017-142233
特許番号：特許第6967851号
出願日： 2016年12月22日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物体を分析するための分析装置のキャリブレーション方法であり、前記分析装置は、
前記物体を照射するよう構成され、伝搬軸に沿って前記物体に向かう電離した電磁波を放出するように設けられた照射源と、
少なくとも1つの画素を有し、照射された前記物体で散乱された放射線を検出し、そのエネルギースペクトルを取得するために構成された検出器であって、前記散乱された放射線は、前記伝搬軸に対して散乱角度と呼ばれる鋭角の方向に伝搬しており、
前記キャリブレーション方法は、以下のステップを有し、
a)少なくとも1つの前記画素がキャリブレーション物体によって散乱された放射線を検出して、そのエネルギースペクトルを取得するように、前記照射源によってキャリブレーション物体を照射し、
b)前記キャリブレーション物体を前記伝搬軸に沿って異なる位置に連続的に移動し、物体のそれぞれの位置で、前記画素により、キャリブレーションスペクトルと称される前記キャリブレーション物体で散乱された放射線のスペクトルを取得して、それぞれのキャリブレーションスペクトルは、前記キャリブレーション物体の位置に関連付けられており、
c)ステップb)の間に取得されたそれぞれのキャリブレーションスペクトルにおいて、前記キャリブレーション物体の特性キャリブレーションピークを特定し、
d)ステップc)において特定されたそれぞれキャリブレーションピークからパラメータを決定し、
e)ステップd)の間に決定されたパラメータから、前記キャリブレーション物体の様々な位置において前記画素に関連付けられた分散関数を取得し、前記分散関数は前記キャリブレーション物体の前記様々な位置で前記画素によって検出された散乱放射線の強度及び/又は散乱角度を示すものである、
方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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X線解析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2015-028961
出願人：パナリティカルビーヴィ
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特許第7092485号
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試料の検査方法および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2006-194756
出願人：ジョーダンバリーセミコンダクターズリミティド
引用文献：
審査官引用 (1件)
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An Autonomous CZT Module for X-ray Diffraction Imaging
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