特許
J-GLOBAL ID：200903022015192452

試料の検査方法および装置

発明者：
アシャー ペレド

アシャー ペレド について

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イサック マゾー

イサック マゾー について

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ボリス ヨキン

ボリス ヨキン について


出願人/特許権者：
ジョーダン バリー セミコンダクターズ リミティド

ジョーダン バリー セミコンダクターズ リミティド について


代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  倉地 保幸 ,  下道 晶久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-194756
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024894
出願日： 2006年07月14日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】増強された分解能をもつX線散乱測定を用いた試料の検査方法を提供する。【解決手段】その試料の検査方法は、試料に向かってX線ビームを誘導する段階と、試料から散乱させられたX線を捕捉すべく検出器素子のアレイを構成する段階とを含む。試料は、アレイのピッチの整数倍数でない増分だけ相互に分離された少なくとも第1および第2の位置との間で該アレイの軸に平行な方向にシフトされる。試料がそれぞれ少なくとも該第1および第2の位置のそれぞれにあるときに検出器素子が捕捉したX線に応答して、該検出器素子により少なくとも第1および第2の信号が生成される。この第1および第2の信号は、前記軸に沿った位置の関数として、試料のX線散乱プロファイルを決定すべく合成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の検査方法であって、 試料に向けてX線のビームを誘導する段階と、 試料から散乱させられた前記X線を捕捉するため、アレイ軸に沿って配置され予め定められたピッチだけ相互に分離された検出器素子のアレイを構成する段階と、 前記ピッチの整数倍数でない増分だけ相互に分離された少なくとも第1および第2の位置の間で前記アレイ軸に平行な方向に、試料をシフトする段階と、 試料が少なくとも前記第1および第2の位置のそれぞれにあるときに検出器素子が捕捉した前記X線に応答して、該検出器素子により生成された少なくとも第1および第2の信号を受信する段階と、 前記軸に沿った位置の関数として、試料のX線散乱プロファイルを決定すべく、少なくとも前記第1および第2の信号を合成する段階と、 からなる方法。
IPC (1件)：
G01N 23/201
FI (1件)：
G01N23/201
Fターム (18件)：
2G001AA01 ,  2G001BA14 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA02 ,  2G001EA09 ,  2G001GA05 ,  2G001GA08 ,  2G001KA01 ,  2G001KA11 ,  2G001KA12 ,  2G001MA05 ,  2G001PA14 ,  2G001PA30 ,  2G001SA01 ,  2G001SA10
引用特許：
出願人引用 (10件)
  • 米国特許出願公開第2004/0131151 A1号明細書
  • 米国特許出願番号第11/000,044号明細書
  • 米国特許第5,740,226号明細書
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審査官引用 (7件)
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