特許
J-GLOBAL ID：202103020573098686

ステージ装置、そのステージ装置を備えた画像投影装置及び撮像装置

発明者：
伊藤 栄一

伊藤 栄一 について


出願人/特許権者：
リコーイメージング株式会社

リコーイメージング株式会社 について


代理人 (3件)： 青木 宏義 ,  三浦 邦陽 ,  三浦 邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-226906
公開番号（公開出願番号）：特開2017-107191
特許番号：特許第6888281号
出願日： 2016年11月22日
公開日（公表日）： 2017年06月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ベース部材と、 上記ベース部材に対して相対的に移動可能な可動部材と、 上記可動部材に対して互いに異なる第1、第2及び第3の方向の推力を作用させる複数の推力発生手段と、 上記可動部材の上記ベース部材に対する並進方向位置及び傾動位置を検出する位置検出手段と、を有するステージ装置であって、 上記推力発生手段は、上記第1、第2及び第3の方向の推力の相互作用により上記可動部材を上記ベース部材に対して相対的に浮上させ、浮上状態で上記第1、第2及び第3の方向に並進、上記各方向回りに傾動、傾動中に並進、傾動後に並進及び並進後に傾動させることが可能な第1、第2及び第3の推力発生手段を備えていて、上記第1、第2及び第3の推力発生手段が、上記可動部材とベース部材の一方に固定されたコイルと他方に固定された永久磁石を備えていること、 上記位置検出手段は、上記可動部材とベース部材の一方に固定された永久磁石と他方に固定された上記コイルの空芯領域に配置された磁気センサを備えていて、上記磁気センサが、上記第2の推力発生手段のコイルの空芯領域に第2の方向に所定間隔で固定された一対の第2の方向用磁気センサと、上記第3の推力発生手段を構成するコイルの空芯領域に第3の方向に所定間隔で固定された一対の第3の方向用磁気センサを備えていること、及び 上記位置検出手段は、上記一対の第2方向用磁気センサと上記一対の第3の方向用磁気センサが検出した信号により、上記可動部材の上記ベース部材に対する第2と第3の方向の並進方向位置と第1の方向回りの傾動位置を検出すること、 を特徴とするステージ装置。
IPC (6件)：
G03B 5/00 ( 202 1.01) ,  G03B 5/08 ( 202 1.01) ,  H02K 33/18 ( 200 6.01) ,  H02K 41/03 ( 200 6.01) ,  H04N 5/232 ( 200 6.01) ,  H04N 5/225 ( 200 6.01)
FI (6件)：
G03B 5/00 J ,  G03B 5/08 ,  H02K 33/18 A ,  H02K 41/03 A ,  H04N 5/232 480 ,  H04N 5/225 300
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM