特許
J-GLOBAL ID：202103020733696089
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-547574
特許番号：特許第6984035号
出願日： 2018年09月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子源から放出される荷電粒子線の照射により試料から放出される荷電粒子、及び試料から放出される荷電粒子が他部材に衝突することによって発生する荷電粒子の少なくとも一方を検出する検出器を備えた荷電粒子線装置であって、
前記検出器は、前記荷電粒子が入射すると光を発光するシンチレータと、光を電気信号に変換する受光素子と、前記シンチレータより発生した光を前記受光素子に導くライトガイドと、を備え、
前記ライトガイドは、
前記シンチレータの発光面に対向して配置され、前記シンチレータで発光した光を入射する入射面と、
前記受光素子に対向して配置され、光を出射する出射面と、
前記入射面に対向し、かつ前記入射面から入射した光を前記出射面の方向へ反射するように前記入射面に対して傾斜して配置された反射面と、を備え、
前記出射面は前記入射面よりも小さく、
前記入射面と前記出射面の間に、前記反射面と対向し、かつ前記入射面に対して傾斜して配置された斜面と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
H01J 37/244
, H01J 37/28 B
