特許

J-GLOBAL ID：202103020808017115

金属酸化物薄膜還元検知センサ

発明者： 上田 光敏 ,  林 優作 ,  河村 憲一 ,  入澤 恵理子 ,  小松 篤史 ,  大久保 成彰 ,  山口 周
出願人/特許権者： 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 ,  国立大学法人東京工業大学
代理人 (1件)： 特許業務法人秀和特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-062404
公開番号（公開出願番号）：特開2021-162404
出願日： 2020年03月31日
公開日（公表日）： 2021年10月11日
要約：

【課題】四酸化三鉄などの金属酸化物の皮膜の状態を簡便に評価・モニターするためのセンサを提供すること。【解決手段】金属酸化物薄膜と、該薄膜上に設置された電極対を含むセンサであって、電極間に電流を流し、該薄膜上の環境変化に基づく金属酸化物薄膜の還元による電極間の電気抵抗変化を検知することを特徴とする、センサ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属酸化物薄膜と、該薄膜上に設置された電極対を含むセンサであって、電極間に電流を流し、該薄膜上の環境変化に基づく金属酸化物薄膜の還元による電極間の電気抵抗変化を検知することを特徴とする、センサ。

IPC (4件)：

G01N 17/04 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/06 ,  G01N 27/12

FI (5件)：

G01N17/04 ,  G01N27/00 L ,  G01N27/06 Z ,  G01N27/12 A ,  G01N27/12 C

Fターム (22件)：

2G046AA07 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046FB02 ,  2G046FE09 ,  2G046FE10 ,  2G046FE11 ,  2G046FE12 ,  2G046FE25 ,  2G050AA01 ,  2G050AA02 ,  2G050BA03 ,  2G050BA04 ,  2G050BA10 ,  2G050EB02 ,  2G060AA10 ,  2G060AE28 ,  2G060AF02 ,  2G060AF07 ,  2G060AG03 ,  2G060EA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-034141
  
• 特開昭63-008547
  
• 酸素濃度の測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-113687   出願人：株式会社村田製作所
• 特開昭60-003533
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• ガスセンサの進歩と新たな応用