1百万を超える微細加工ミラー【JST・京大機械翻訳】

Jin Naijun; McLemore Charles A.; Mason David; Hendrie James P.; Luo Yizhi; Kelleher Megan L.; Kharel Prashanta; Quinlan Franklyn; Diddams Scott A.; Rakich Peter T.

プレプリント

J-GLOBAL ID：202202215389970035 整理番号：22P0322152

1百万を超える微細加工ミラー【JST・京大機械翻訳】

Micro-fabricated mirrors with finesse exceeding one million

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発行年： 2022年03月29日プレプリントサーバーでの情報更新日： 2022年06月07日
JST資料番号： O7000B 資料種別：プレプリント
記事区分：プレプリント発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Fabry-P’erot共振器は,空洞QED,光クロック,精密長計測および分光法を含む多様な分野での科学的および技術的ブレークスルーを可能にする最も広く用いられている光学デバイスの一つである。共振器の設計は広く変化するが,すべての高エンドアプリケーションは,最低の損失と最高の微粉可能性をもつミラーから利益を得る。最高微粉鏡の製造は,数百万(ppm)レベルで損失を提供する,何世紀かの機械研磨技術に依存する。しかし,既存の製作技術は,スケーラブルな量子デバイスと次世代のコンパクトな原子クロックのために必要とされる大きな範囲のミラー形状を有する高精細共振器を製造できる。本論文では,4桁(10 ̄-4~10 ̄0m)にわたる超微粒子(≧10 ̄6)とユーザ定義曲率半径を有するミラーを作製する新しいスケーラブルなアプローチを紹介した。フォトレジストリフローと反応性イオンエッチングを用いて,サブAngstrom粗さを維持しながら,基板上へミラーテンプレートを形状と移動させた。この基板を誘電体スタックで被覆し,1.3百万の高い微細な値を有するコンパクトなFabry-P’erot共振器のアレイを作成し,過剰損失<1ppmを測定した。5つの基板を横切る43デバイスの光学的リングダウン測定は,作製した空洞鏡が,小半径と大半径の曲率半径の両方を持ち,平均被覆制限微粉が1.05百万であることを示した。この多目的な新しいアプローチは,新しい量子光学および周波数計測技術に必要な高精細小型化Fabry-P’erot共振器のスケーラブルな製作へのドアを開いた。【JST・京大機械翻訳】

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固体デバイス製造技術一般 , 光デバイス一般

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