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J-GLOBAL ID：202202219448310771   整理番号：22A1091072

耐久性フレキシブルデバイスのための連続ナノ挿入によるポリイミド膜上の形状制御ミクロおよびナノパターンのバリおよびエッチフリー直接機械加工【JST・京大機械翻訳】

Burr- and etch-free direct machining of shape-controlled micro- and nanopatterns on polyimide films by continuous nanoinscribing for durable flexible devices

著者 (15件)： Oh Dong Kyo (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea.) ,  Lee Wonseok (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Chae Hyoungseok (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Chun Hyunsoo (Graduate Program of Energy Technology, School of Integrated Technology, Institute of Integrated Technology, Gwangju Institute of Science and Technology, Gwangju 61005, Republic of Korea.) ,  Lee Minyoung (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Kim Dong Ha (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Kim Joohoon (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea.) ,  Choi Jaemin (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Hwang Sangwon (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Park Minyong (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Yeon Gyubeom (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Jung Sunmin (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.) ,  Rho Junsuk (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea.) ,  Rho Junsuk (Department of Chemical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), Pohang 37673, Republic of Korea) ,  Ok Jong G. (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Seoul National University of Science and Technology, Seoul 01811, Republic of Korea.)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 257  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリイミド(PI)は,その優れた熱的および化学的安定性のため,そのマイクロおよびナノパターン化構造に基づく高耐久性フレキシブルデバイスのための最も実用的なポリマーの一つである。しかし,通常,材料除去と化学エッチングを含む従来のトップダウンパターニングプロセスは,その高い機械的および化学的抵抗のため,PI膜上にマイクロおよびナノパターンを作製するのにしばしば効果がない。本研究では,連続動的ナノスクライビングにより駆動されるバリおよびエッチフリーの直接機械的変形を利用して,高効率でスケーラブルなPIパターニング法を開発した。ミクロおよびナノパターンを,温度や力のようないくつかの重要なナノ刻印プロセスパラメータを制御することによって,調整期間,深さ,および形状を有するPI膜上で,クリーンに加工できる,ことを,系統的に調査した。この研究から利益を得ることができる多くの潜在的な応用の中で,フレキシブルで高耐久性のデバイスシステムに向けて,PI表面に,あるいはエッチングフリーにパターン化された金属マイクロおよびナノワイヤの容易な作製を実証した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  重合体 ,  *ポリイミド ,  除去 ,  *機械工作 ,  プロセスパラメータ ,  *形状制御 ,  パターン形成 ,  ナノワイヤ ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 高効率 ,  材料除去 ,  *ナノパターン ,  *フレキシブルデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ポリイミド ,  マイクロおよびナノパターン ,  動的ナノ注入 ,  溶液処理可能な金属ナノ構造 ,  フレキシブルで耐久性のあるデバイス

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (7件)： フレキシブルデバイス ,  ポリイミド膜 ,  形状制御 ,  ナノパターン ,  バリ ,  エッチ ,  機械加工