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J-GLOBAL ID：202202220233321798   整理番号：22A0735712

カーボンナノチューブベース電界放出陰極の特性に及ぼすXeプラズマ処理の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Xe plasma processing on characteristics of carbon nanotube-based field emission cathodes

著者 (3件)： Kikukawa Rikiya (Department of Engineering, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka, Japan) ,  Ohkawa Yasushi (Japan Aerospace Exploration Agency, 3-1-1, Yoshinodai, Chuo-ku, Sagamihara, Kanagawa, Japan) ,  Yamagiwa Yoshiki (Shizuoka University, 3-5-1, Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka, Japan)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 122  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,Xeプラズマ処理エイジング法を用いて,カーボンナノチューブ(CNT)ベースの電界放出カソード(FEC)の長期運転における電子放出安定性を改善する実験セットアップと手順を開発した。最適プラズマ処理条件を見出すために,FECの曝露時間,プラズマ環境,バイアス電圧を変化させた。プラズマ処理は,ある数の電子放出に必要なゲート電圧を増加させたが,発光安定性が向上し,プラズマ処理の時効効果を確認した。約-15Vのバイアス電圧と短い曝露時間がプラズマ処理に最も適していた。イオンおよび電子衝突の数および衝突エネルギーはCNTへの最小損傷でCNT構造において中程度の変化を引き起こすので,提案したプラズマ処理はCNT系FECの寿命を改善し,宇宙推進システムの電子放出源として使用されるならば必須であることを期待する。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン ,  *プラズマ ,  電圧 ,  *電界放出 ,  電子衝突 ,  電子放出 ,  発光 ,  *キセノン ,  *プラズマ処理 ,  衝突エネルギー ,  *カーボンナノチューブ ,  *カソード
準シソーラス用語： バイアス電圧 ,  ゲート電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： カーボンナノチューブ ,  電界放出陰極 ,  プラズマプロセス

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： カーボンナノチューブ ,  電界放出 ,  陰極 ,  Xe ,  プラズマ処理