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J-GLOBAL ID：202202228987530656   整理番号：22A1210785

広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究(第5報)-Gerchberg-Saton法による位相復元における表面構造による散乱光遮断の影響-

著者 (4件)： 板倉聡史 (大阪大) ,  上野原努 (大阪大) ,  水谷康弘 (大阪大) ,  高谷裕浩 (大阪大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D11  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 数nmから数十μmの3次元微細加工において,表面トポグラフィ計測手法が求められている.広範囲かつ高精度な測定の実現のために,光周波数コムを光源としたレーザ逆散乱法による表面トポグラフィ計測系の開発を行っている.計測対象表における表面構造による散乱光の遮断がGerchberg-Saxton法による位相復元に影響を及ぼす.本報告では,位相復元における散乱光遮断の影響と補正方法ついて述べる.(著者抄録)

シソーラス用語： *光源 ,  *トポグラフィー【形態】 ,  位相回復 ,  *散乱光 ,  表面構造 ,  *微細加工 ,  精密加工 ,  *分解能 ,  有限差分時間領域法 ,  レーザビーム ,  形状測定
準シソーラス用語： FDTD ,  位相復元 ,  *光周波数コム ,  三次元形状測定 ,  *表面トポグラフィー

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (2件)：

• Atsushi Taguchi, et al, Optical 3D profilometer for in-process measurement of microsurface based on phase retrieval technique. Precision Engineering, Vol. 28, No. 2, pp. 152-163, 2004.
• R. W. Gerchberg, et al, A Practical Algorithm for the Determination of Phase from Image and Diffraction Plane Pictures, Optik, Vol. 35, No. 2, pp. 237-246, 1972.

タイトルに関連する用語 (10件)： 広帯域 ,  光周波数コム ,  散乱 ,  分光 ,  表面トポグラフィ計測 ,  基礎的研究 ,  位相復元 ,  表面構造 ,  散乱光 ,  遮断