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J-GLOBAL ID：202202229382859428   整理番号：22A1149793

3D-MEMS加工と超微細転写技術の開発

Development of 3D-MEMS processing and ultra-fine transfer technology

著者 (6件)： 矢作徹 (山形県工技セ) ,  山田直也 (山形県工技セ) ,  村山裕紀 (山形県工技セ) ,  加藤睦人 (山形県工技セ) ,  渡部善幸 (山形県工技セ) ,  峯田貴 (山形大 大学院理工学研究科)
資料名： 山形県工業技術センター報告  (Reports of Yamagata Research Institute of Technology)
号： 53  ページ： 24-29  発行年： 2022年03月 
JST資料番号： F0568A  ISSN： 0286-813X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・3次元微細構造の形成において,生産性と作製コストの面で従来技術のフォトリソグラフィーに比べて有用な,型を用いた樹脂成形での作製を行う超微細転写技術の開発を紹介。
・MEMS技術を用いた斜め多段フィン構造金型を作製し,熱インプリント成形によって樹脂にフィン構造転写を行った成形樹脂の機能性を反射率測定によって評価。
・光学反射特性の評価から,フィン構造がある成形品では,400~600nm領域の反射率が向上し,鱗粉構造と類似した特性を示すことを確認。

シソーラス用語： *MEMS ,  技術開発 ,  生産性 ,  製造原価 ,  *プラスチック成形 ,  フィン ,  *金型 ,  押付成形 ,  *微細加工 ,  反射率 ,  *高分子加工 ,  バイオテクノロジー ,  三次元 ,  パターン転写 ,  微細構造
準シソーラス用語： 3D ,  バイオミメティクス ,  超微細構造 ,  熱インプリント

分類 (2件)： その他の成形  (YH04090Q) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (16件)：

• 木下修一: 「生物ナノフォトニクス-構造色入門-」, 朝倉書店, 70(2010).
• 伊藤浩志: 「マイクロ射出成形の現状と最新技術」,型技術, Vol.25,No.3,pp.18-22(2010).
• S. Kinoshita, S. Yoshioka, Y. Fujii, N. Okamoto,; ′′Photophysics of Structural Color in the Morpho Butterflies′′, Forma. 17, pp.103-121 (2002).
• K. Watanabe, T. Hoshino, K. Kanda, Y. Haruyama, S. Matsui: ′′Brilliant Blue Observation from a Morpho-Butterfly-Scale Quasi-Structure′′, Jpn. J. Appl. Phys. Vol.44, No.1, pp. L48-L50(2005).
• 熊澤金也, 構造発色繊維(モルフォテックス), 高分子, 55(12),951(2006).

タイトルに関連する用語 (5件)： 3D ,  MEMS ,  超微細 ,  転写 ,  開発