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J-GLOBAL ID：202202258719880467   整理番号：22A0508973

耐電力向上に向けた高次モード分極反転ScAlN薄膜の作製およびサブW耐電力性の評価

Sub-W power durability evaluation of higher-order mode polarization inversion ScAlN thin film SMR

著者 (7件)： 柴田真之 (早稲田大) ,  柴田真之 (材研) ,  佐藤裕友 (早稲田大) ,  佐藤裕友 (材研) ,  柳谷隆彦 (早稲田大) ,  柳谷隆彦 (材研) ,  柳谷隆彦 (JST-CREST)
資料名： 圧電材料・デバイスシンポジウム  (圧電材料・デバイスシンポジウム講演論文集)
巻： 2022  ページ： 67-72  発行年： 2022年01月31日 
JST資料番号： L5218A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・RFマグネトロンスパッタリング法により,音響Bragg反射層上に分極反転ScAlN多層薄膜を作製。
・また1ポート共振子の耐電力性を評価する耐電力試験系を構築し,作製した分極反転ScAlN薄膜の単層と多層を比較。
・その結果,単層よりも多層の方が周波数シフト開始印加電力大と,単層は周波数シフトと共にS₁₁のピークが減少し始めたが,多層では減少しないことを確認。

シソーラス用語： スマートフォン ,  基地局 ,  小型化 ,  *弾性表面波素子 ,  *絶縁耐力 ,  *分極反転 ,  *スカンジウム化合物 ,  *窒化アルミニウム ,  薄膜 ,  *薄膜成長 ,  音響共振器 ,  多層膜 ,  Bragg反射 ,  音波反射
準シソーラス用語： BAW素子 ,  圧電薄膜 ,  圧電薄膜共振器 ,  *音響Bragg反射 ,  耐電圧

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (5件)：

• T. Yanagitani, N. Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Y. Watanabe, ”c-Axis Zig-Zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes”, IEEE Int. Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 58, no. 4, pp. 1062-1068, May 2011
• R. Karasawa and T. Yanagitani, ”c-Axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna”, in Proc. IEEE Int. Ultrason. Symp., no. 17317680, Oct. 2017
• Sarina Kinoshita, Takahiko Yanagitani, ”Self-Standing FBAR Transformer based on Shear Mode Zigzag ScAlN Multilayer for Rectenna Application”, IEEE Int. Ultrason Symp, no. 20177887, Sep. 2020
• Tatsuya Omori, Shunsuke Ohara, Chang-Jun Ahn, and Ken-ya Hashimoto Graduate school of Engineering Chiba University,” Study of power durability measurement of RF SAW devices for IEC standardization ”, IEEE Int. Ultrason. Symp., no. 15601595, Oct. 2015
• Sato, Y., Yanagitani, T. ”Zig-zag ScAlN multilayer SMR for high power BAW fileter application such as RF base station”, in Proc. IEEE Int. Ultrason. Symp., no. 20177915, Sep. 2020

タイトルに関連する用語 (6件)： 高次モード ,  分極反転 ,  薄膜 ,  作製 ,  サブ ,  評価