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J-GLOBAL ID：202202262988784941   整理番号：22A0508990

FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)を用いた小型高感度においセンサモジュールの開発

Highly sensitive downsized smell sensor module development using film bulk acoustic resonators

著者 (9件)： 恩田陽介 (太陽誘電) ,  佐藤和紀 (太陽誘電) ,  高野貴之 (太陽誘電) ,  坂下武 (太陽誘電) ,  齋藤彰 (太陽誘電) ,  宮崎正彦 (太陽誘電) ,  服部将志 (太陽誘電) ,  西原時弘 (太陽誘電) ,  伊藤浩之 (東京工大 大学院)
資料名： 圧電材料・デバイスシンポジウム  (圧電材料・デバイスシンポジウム講演論文集)
巻： 2022  ページ： 157-158  発行年： 2022年01月31日 
JST資料番号： L5218A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・GHz帯に共振周波数を持つFBAR(film bulk acoustic resonator)振動子の技術を利用して匂いセンサに応への応用を検討。
・小型で高感度なFBAR匂いセンサモジュールを実現させるため,周辺回路のLSI化とFBAR素子構造を検討。
・発振回路とカウンター回路のワンチップLSIを作製し,2chで13mm×16mmの小型センサモジュールの開発に成功。
・また,課題であった,温湿度による周波数変動を抑制するため,温度補償膜および耐湿構造をFBAR素子に適用し,エタノールのLOD840ppbを達成。

シソーラス用語： *音響共振器 ,  *匂いセンサ ,  小型 ,  高感度 ,  回路 ,  *LSI【IC】 ,  周波数変動 ,  温度補償 ,  耐湿性 ,  感度 ,  *圧電振動子 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： *FBAR ,  ガス感度 ,  周辺回路

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

物質索引 (1件)： エタノール

引用文献 (4件)：

• G Sauerbray, Zeitschrift fur Physik 155, 206-222 (1959)
• 恩田陽介 強誘電体応用会議(2019)
• S Taniguchi, in Proc. 3rd Int. Symp. Acoust. Wave Devices Future Mobile Comm. Syst., pp.99-96 (2007)
• J Zhao, IEEE JOURNAL OF SOLID STATE CIRCUITS, 52-4 (2017)

タイトルに関連する用語 (5件)： FBAR ,  高感度 ,  においセンサ ,  モジュール ,  開発