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J-GLOBAL ID：202202264793852654   整理番号：22A1215680

触媒的原子状水素処理によるスパッタリングHZO薄膜の強誘電性向上

Enhancement of ferroelectricity in sputtered HZO thin films by catalytically generated atomic hydrogen treatment

著者 (8件)： Mohit (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Wen Yuli (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Hara Yuki (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Migita Shinji (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan) ,  Ota Hiroyuki (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan) ,  Morita Yukinori (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan) ,  Ohdaira Keisuke (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan) ,  Tokumitsu Eisuke (School of Materials Science, Japan Advanced Institute of Science and Technology (JAIST), Nomi, Ishikawa 923-1211, Japan)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics (Web)  (Japanese Journal of Applied Physics (Web))
巻： 61  号： SH  ページ： SH1004 (10pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： G0520C  ISSN： 1347-4065  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 概要:厚さ10nmの酸化ハフニウム-酸化ジルコニウム(HZO)薄膜の電気特性に対する触媒的原子状水素(Cat-H)処理の影響を調べた。その結果,Cat-H処理はHZO膜の結晶化後に準安定な斜方晶相を安定化させるのに有効であることが示された。Cat-H処理による強誘電性の向上は,100Paの減圧下で結晶化したスパッタリングHZO膜,窒素および大気中で結晶化した膜で顕著に確認された。また,Cat-H処理により,再アニールに対する安定性も向上することがわかった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 水素 ,  スパッタ蒸着 ,  水素化 ,  *強誘電性 ,  触媒 ,  *酸化ハフニウム ,  *酸化ジルコニウム ,  *固溶体 ,  酸化物 ,  薄膜 ,  電気特性 ,  *水素化処理 ,  減圧弁 ,  結晶化 ,  安定性
準シソーラス用語： 原子状水素 ,  酸化物薄膜 ,  水素化触媒

著者キーワード (5件)： 強誘電体 ,  二酸化ハフニウム ,  猫治療 ,  スパッタリング ,  安定性

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 触媒 ,  原子状水素 ,  スパッタリング ,  薄膜 ,  強誘電性