文献

J-GLOBAL ID：202202265756070602   整理番号：22A0449864

低損失,無鉛(Ba_0.50Sr_0.50)TiO_3およびBa(Zr_0.15Ti_0.85)O_3二層薄膜スタックの改善された同調性とエネルギー貯蔵密度特性【JST・京大機械翻訳】

Improved Tunability and Energy Storage Density Properties of Low-Loss, Lead-Free (Ba_0.50Sr_0.50)TiO₃ and Ba(Zr_0.15Ti_0.85)O₃ Bilayer Thin Film Stacks

著者 (5件)： Mahesh M. L. V. (Ceramics and Composites Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad, India) ,  Mahesh M. L. V. (Department of Physics, Indian Institute of Technology Hyderabad, Kandi, Telangana, India) ,  Pal Prem (Department of Physics, Indian Institute of Technology Hyderabad, Kandi, Telangana, India) ,  Prasad V. V. Bhanu (Ceramics and Composites Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad, India) ,  James A. R. (Ceramics and Composites Group, Defence Metallurgical Research Laboratory, Kanchanbagh, Hyderabad, India)
資料名： Journal of Electronic Materials  (Journal of Electronic Materials)
巻： 51  号： 2  ページ： 727-735  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0277B  ISSN： 0361-5235  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルスレーザ蒸着技術を用いて,(Ba_0.50Sr_0.50)TiO_3(BST)とBa(Zr_0.15Ti_0.85)O_3(BZT)の多層薄膜を設計し,成長させた。周期的(BST/BZT)_n薄膜をPt<111>/SiO_2/Si基板上に堆積させた。X線回折は,二層薄膜スタックに対応する多結晶ペロブスカイト構造の存在を明らかにした。走査電子顕微鏡は,層を横切る相互拡散のない多層構造を確認した。また,薄膜の誘電および強誘電特性は,周期的ヘテロ構造によって強く影響された。薄膜スタックは,LaAlO_3,MgOおよびSrTiO_3のような種々の単結晶基板上に成長した多層薄膜と比較して,かなり高い可同調性を示した。改善された誘電特性および減少した漏れ電流のような他の観測された属性を説明する可能な機構を考察した。多層スタックに比較的低誘電率薄膜を導入する効果を提示した。このような多層構造膜の観察された特性は,低損失で高調整可能な応用の実現に役立つであろう。Copyright The Minerals, Metals & Materials Society 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  相互拡散 ,  走査電子顕微鏡 ,  *薄膜 ,  誘電性 ,  酸化マグネシウム ,  強誘電性 ,  多結晶 ,  漏れ電流 ,  多層構造 ,  多層膜 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： ヘテロ構造 ,  シリコンウエハ ,  チューナビリティ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 多層薄膜 ,  チューナビリティ ,  エネルギー貯蔵密度 ,  漏れ電流 ,  誘電特性 ,  電界分布

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 低損失 ,  Ba ,  薄膜 ,  スタック ,  同調性 ,  エネルギー貯蔵 ,  密度