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J-GLOBAL ID：202202287899938061   整理番号：22A0430964

多層上の原子状水素洗浄炭素汚染の特性研究【JST・京大機械翻訳】

Study on the characteristics of atomic hydrogen cleaning carbon contamination on multilayers

著者 (13件)： Song Yuan (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Lu Qipeng (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Gong Xuepeng (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Wang Dazhuang (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Zhang Zhen (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Yu Bo (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Yao Shun (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Mao Qijun (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Mao Qijun (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China) ,  Ma Tianyu (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Ma Tianyu (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China) ,  Bai Yang (State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin, 130033, China) ,  Bai Yang (University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100039, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 196  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mo/Si多層は,シンクロトロン放射ビームラインと極端紫外線リソグラフィーマシンで広く使用されている。光源の電力の増加とともに,多層上の炭素汚染の問題はますます深刻になる。炭素汚染のin situ効率的で非損傷除去が非常に必要である。原子状水素は,損傷なしに炭素を洗浄する効果的な粒子であることが証明されている。しかし,原子水素洗浄炭素汚染の機構は完全には理解されておらず,洗浄速度はゆっくりである。原子水素による炭素汚染の効率的でin situ洗浄を実現するために,原子水素洗浄炭素汚染のプロセスに及ぼす種々の条件の影響を,最初に実験によって研究した。次に,洗浄速度に及ぼす作動距離,温度,および原子水素濃度の特性関係を同定し,機構を研究した。洗浄率は0.0347nm/minに達した。最後に,洗浄後の多層の光学的性質と表面粗さの変化を分析した。その結果,試料の反射率を効果的に回復でき,試料の表面粗さは洗浄後にほとんど変化しないことが分かった。本研究は,その場で効率的な原子水素洗浄炭素汚染を実現するための大きな意義を持つ。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  光源 ,  シンクロトロン放射 ,  反射率 ,  電力 ,  ケイ素 ,  *炭素 ,  モリブデン ,  洗浄力 ,  リソグラフィー ,  ビームライン ,  極端紫外線
準シソーラス用語： *原子状水素 ,  極端紫外線リソグラフィー ,  *炭素汚染 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： シンクロトロン放射 ,  極端紫外リソグラフィー ,  原子水素洗浄 ,  多層上の炭素汚染 ,  洗浄機構

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多層 ,  原子状水素 ,  洗浄 ,  炭素汚染 ,  研究