Sun Xinghua について
TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203 について
Mignot Yann について
IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203 について
Cole Christopher について
TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203 について
Liu Eric について
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Santos Daniel について
TEL Technology Center, America, LLC, 255 Fuller Road, Suite 214, Albany, New York 12203 について
Raley Angelique について
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Church Jennifer について
IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203 について
Meli Luciana について
IBM Research Albany, 257 Fuller Road, Albany, New York 12203 について
Sieg Stuart A. について
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Biolsi Peter について
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Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena について
エッチング について
半導体 について
誘電体 について
銅 について
相互接続 について
マスク について
論理素子 について
メタライゼーション について
連続波 について
自己整合 について
パターン形成 について
半導体プロセス について
極端紫外線 について
BEOL について
ダマシン について
ハードマスク について
ダブルパターニング について
固体デバイス製造技術一般 について
極端紫外 について
ダマシン について
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研究 について
パターン形成 について
エッチ について
メタライゼーション について