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J-GLOBAL ID：202202291038389019   整理番号：22A0508986

GHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層単体の機械的通過特性の評価

Measurement of mechanical transmission loss of Bragg reflector by GHz pulse echo method

著者 (7件)： 近藤圭太 (早稲田大) ,  近藤圭太 (材研) ,  石井直輝 (早稲田大) ,  石井直輝 (材研) ,  柳谷隆彦 (早稲田大) ,  柳谷隆彦 (材研) ,  柳谷隆彦 (JST-CREST)
資料名： 圧電材料・デバイスシンポジウム  (圧電材料・デバイスシンポジウム講演論文集)
巻： 2022  ページ： 139-144  発行年： 2022年01月31日 
JST資料番号： L5218A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・音響多層膜共振子(SMR)は基板上に高低音響インピーダンス層を交互に積層したブラッグ反射器を作製し,その上に圧電薄膜を形成した構造。
・SMRは基板に熱が放射できるため,自立構造のFBARと比べて,耐電力性の高い特徴があり,通常,SMRの特性評価には圧電層とブラッグ反射器の特性を分離しての確認は困難。
・本報では,超音波パルスエコー法を用いて,ブラッグ反射器の基板底面における反射信号を測定し,GHz帯の音響ブラッグ反射層単体の機械的通過特性を実験的に抽出する方法を提案。

シソーラス用語： *音響共振器 ,  多層膜 ,  *音響インピーダンス ,  反射器 ,  *Bragg反射 ,  薄膜 ,  パルス反射法 ,  伝送損失 ,  超音波変換器
準シソーラス用語： Bragg反射器 ,  *圧電薄膜 ,  *音響多層膜共振子 ,  *超音波パルスエコー

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  音響信号処理  (BB03050C)

引用文献 (6件)：

• K. M. Lakin, K. T. McCarron, and R. E. Rose, ”Sol-idly mounted resonators and filters,” Proc. IEEE Ultrason. Symp., vol. 2, pp. 905-908, 1995
• Y. Korai, M. Suzuki, and T. Yanagitani, ”Multilayer piezoelectric ScAlN film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range,” IEEE Ultrason. Symp., 2020.
• M. Akiyama, T. Kamohara, K. Kano, A. Teshigahara, Y. Takeuchi and N. Kawahara, ”Enhancement of piezoelectric response in scandium aluminum nitride alloy thin films prepared by dual reactive cosputtering,” Adv. Mater., vol. 21, no. 5, pp. 593-596, 2008.
• K.-H. Sano, R. Karasawa and T. Yanagitani, ”ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40-80 MHz,” IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Control, vol. 65, no. 11, pp. 2097-2102, 2018.
• T. Yanagitani, and M. Suzuki, ”Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary,” Appl. Phys. Lett., vol. 105, no. 12, pp. 122907-1-122907-4, 2014.

タイトルに関連する用語 (6件)： GHz ,  パルスエコー法 ,  音響 ,  ブラッグ反射 ,  単体 ,  評価