特許

J-GLOBAL ID：202203000362034947

誘電体膜およびそれを用いたキャパシタならびに誘電体膜の製造方法

発明者： 長田 貴弘 ,  知京 豊裕 ,  安藤 陽 ,  池田 潤
出願人/特許権者： 国立研究開発法人物質・材料研究機構 ,  株式会社村田製作所
代理人 (2件)： 山尾 憲人 ,  吉田 環
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-090488
公開番号（公開出願番号）：特開2022-182764
出願日： 2021年05月28日
公開日（公表日）： 2022年12月08日
要約：

【課題】広い温度範囲(例えば20~150°C)に亘って絶縁性が高い誘電体膜を提供する。 【解決手段】パイロクロア型または層状ペロブスカイト型の結晶構造を有する誘電体膜であって、一般式A 2 B 2-2x Z 2x O 7 (式中、Aは、Mg、Ca、Sr、Ba、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる群より選択される2つ以上の元素であって、このうち各1つの元素として互いに異なるA 1 およびA 2 を含み、Bは、Ti、Zr、Hf、V、NbおよびTaからなる群より選択される2つ以上の元素であって、このうち各1つの元素として互いに異なるB 1 およびB 2 を含み、Zは、Cr、MoおよびWからなる群より選択される少なくとも1つの元素であり、xは0 請求項（抜粋）：

パイロクロア型または層状ペロブスカイト型の結晶構造を有する誘電体膜であって、 一般式A 2 B 2-2x Z 2x O 7 (式中、Aは、Mg、Ca、Sr、Ba、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、YbおよびLuからなる群より選択される2つ以上の元素であって、このうち各1つの元素として互いに異なるA 1 およびA 2 を含み、Bは、Ti、Zr、Hf、V、NbおよびTaからなる群より選択される2つ以上の元素であって、このうち各1つの元素として互いに異なるB 1 およびB 2 を含み、Zは、Cr、MoおよびWからなる群より選択される少なくとも1つの元素であり、xは0 IPC (3件)：

C23C 14/08 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/316

FI (3件)：

C23C14/08 K ,  C23C16/40 ,  H01L21/316 Y

Fターム (21件)：

4K029BA50 ,  4K029BB07 ,  4K029CA05 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029GA01 ,  4K030AA11 ,  4K030BA06 ,  4K030BA10 ,  4K030BA12 ,  4K030BA13 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA19 ,  4K030BA20 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BB03 ,  5F058BA11 ,  5F058BC03 ,  5F058BF12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 薄膜コンデンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-278613   出願人：株式会社村田製作所
• 国際公開第2020/246363号